Праграма апетичных кампанентаў у літографіі

У літографіях, Аптыстыя сістэмы адказная для фокусу і праграмавання светла змену, якія тэкставы зыходнага світла на сітаконам выпадковы циклыя шаблонаў. Такім чынам, дизайн і оптымізацыі апетичных кампанентаў у літографічных сістэмах і сустрэчныя для павялічвання выканання літографічных машын.

Праекцыі

Працоўны лінз у літографічная машына, звычайна складана з серіях лінзіў, у ўключыць конвенксі лінзі, лінзі і фірмі. Функцыя ёсць фоксаціць і праграмаць светла змену, якое трэба за светла. У літографічны машын, лінз зменшуе шаблон на маску ў неабходным маску, а потым фокусуе яго на фотерасісті Фэр.

Сістэма выраўнавання

Аптыічны сістэмы у літографічная машына выкарыстаецца першай, каб ўпэўнена дакладнасьці размяшчэння wafer. У працэсу літографіі памылкі ў прыладах і матеріў можа прыпыніць пазіцыю адхілення міс фотомаска і сітаконам вафер, прыкладаць да адрозненняў або няправільності ў формыя шаблонах. Такім чынам, сістэма выкарыстае дакладныя апетичныя кампаненты, такі як дзеляльныя, стандартныя лінзі, і птыстыя кадыроўкі для меркавання і адпавядаць, запевняць выгульныя выканання і малюнка ў літографічны працэсу.

Аптыстыя лінзы

Актывыя дзелякі: Выкарыстоўваць у літографічных машынах для змены напрямку светла шляху, паведамленьне светла да правільнай пошты. Дакладнасць і стабільність дзеляў значна напамінак на выканання літографіі.

Падзелькі пляма:Падзелькі хмары - птыкальныя кампаненты, якія падляць адным светок Яны выкарыстаюць у літографіях, каб створыць шмат паралельныя змены, што дазволіць усім часам выпадку шмат трэбаў.

Гранты: птыкальныя кампаненты, якія падзяляць светло на шмат падбрамі і кіруць іх фаса і эмплітуды. Яны выкарыстані ў літографічных машынах для стварэння комплексных шаблонаў і структуры.

Фільтры:Фільтры выкарыстаюць для фільтраваць небажаныя двільныя маленькі светла, папавяшчэнні дакладнасць і якасць літографіі.