Выключыць дзеркальны (FSM) з'яўляецца дзеляў (пітлія або плітанае), сэнсары пазіцыю, і кантрольныя інтэгнавані на палюцыю. Бена Optics праўляе FSM у розныя матеріалі SS і Zerodur.
Хуткасць дзерка (FSM) Уключыць дзеляльнае ўсталяваны ў сістэме падтрымкі, якое націснуты для направаў лазеру або іншай светла крыніцы. Набор голасных актуатораў або бягучыя сенстары eddy выкарыстаюць для напушчаных руху для пошуку дакладання і нізнай функцыявісткі джітра.
Сістэма паказвае аперацыі адчыненыя і зачыненыя кропкі. Для аперацыі закрыванага трэба, выкарыстаюць інтэрвалентныя сенстары дакладныя хуткасць, каб дапаўненне ўсталяванні сістэмы кіравання рэгулярных. З сваім модульным дизайнам, FSM дазваляе павялічыць шрыхвалентнай у выбару абстраў, памер апературы, Градус і кантрольная електроніка, каб задавальняць усіх выпадковых місіцыя.
Бена Optics хутчэга лялькасць лялькасць стандартна паліцца для інтэрферометрычнах кантрольных адлюстраваньніх хвилі. г. λ/8 PV @632,8 nm.
Высокі суткісць
Ултравічная вага:
Маленькі момант інерція
Высокі рэзонансна часткія
Термічнасць
Маленькі динамічны плоскасць
Замяніць Берилліу
Хуткасць дзерка - гэта важна часткі сістэмы рэгістраў выклікацыі, які выкарыстані, каб дакладна кіравання промені. Хуткасць адказу дзеяльніка, высокі дакладнасць Яна можа быць выкарыстаць, каб выкарыстаць памылку ў апетичным шляху, а можа быць выкарыстаць для стабілізації наказу промені, і можа быць выкарыстаць у сістэме хуткага сліду. Хуткасць дзеркальнік кіруе хутка і вялікая павароту дзеля пад дзеянням элемента драйвера, каб зразумець точную пункту вышыня хуткай , Стабілізацыі і сліду.
ЛГеодэты
ЛСістэмы сканінальныя і прасторы
ЛВысокі ласеры матеріал апрацоўкі UV-IR, наприклад, машырыцоўкі, пазначыць, дадатковы выкарыстанць
ЛМетрологія і вафера
ЛБіологічны
ЛВысокі вышэйшыя сканкання камера для станоўкі праграма
ЛЗвесткі праграмы LiDAR